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产品详细资料 发布时间：2008-4-21 17:39:26

半导体器件设备-硅片片盒清洗机

半导体器件设备-硅片片盒清洗机
半导体器件设备-片盒清洗机型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB1.设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。 2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。 3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道、全氟循环系统，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。 4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：010-83270202/52112445/52112455/13910297918-耿彪/13910297192-马胜南/13911371769-李国山。本公司律师顾问团郑重声明：依据国家有关法律，在中华人民共和国范围内，北京华林嘉业科技有限公司是唯一拥有对有关“华林嘉业”字样名称及商标等专用权的合法性公司，任何个人机构不得擅自使用。

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